冷镜湿度测量法是一种用于测量气体露点或霜点的方法，其工作原理如下：

光线照射到抛光的镜面上，镜面的温度由一个热电热泵控制，即珀尔帖元器件。而光敏接收器测量直接反射的强度。当镜面清洁干燥时，反射光的强度达到大值。相反地，表面凝结有水蒸气的冷镜会散射光， 导致直接反射的光减少，信号强度降低。

利用这种接收到的光信号作为闭环控制系统的反馈， 镜面可以冷却到某个温度，而这个通过接收光的强度检测到的温度使得镜面冷凝层的厚度保持恒定状态。

一个恒定厚度的凝结水层，凝结水没有进一步的净增加或减少，与镜子周围的气体处于动态平衡。在这种平衡条件下，气体的露点或霜点温度是通过测量镜面的温度来确定的。

如果已知冷凝液为液态，即使在低于霜点的温度下， 也应将测得的镜面温度作为露点。如果已知凝结水以冰或霜的固体形式存在，则将测得的镜面温度作为霜点。

究竟是露还是霜？

当镜子温度高于0℃时，水蒸气在镜子上凝结为液态水（露水）。液体凝结层被认为是露点。对于远低于0℃的镜子温度，水蒸气在镜子上凝结为固体冰（霜）。固体凝结层被视为霜点。

然而，对于介于0至-20℃之间的镜面温度，冷凝层的状态是不确定的，可以是水或冰，或者如右图所示的二者的某种组合。

在这个温度范围内，如果没有肉眼观察，很难知道系统是在露点、霜点，还是在两者之间的某个地方进行控制。由于这些状态发生在相同水蒸气含量的气体的不同镜面温度下，所以重要的是确定它属于哪种状态。由此产生的误差可达3℃。